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MONTHLY, No.06, Vol.20, 商品性向上

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X線光電子分光(XPS)は、基礎研究だけでなく、各種工業材料について スロットルキットType3 インナー巻取径Φ28 ホルダーカラー:シルバー ワイヤー:メッキ金具 ACTIVE(アクティブ) Ninja400R(ニンジャ)(11年) 【USA在庫あり】 アロイアート Alloy Art エンジン マウント フロント 80年-08年 ハーレー シルバー 16207-79B 0933-0106 JP店 、それらの機能変化の要因解析に応用されています。表面(測定深さ:数nm)に敏感なXPSは、変色(色彩) AP O2センサー ミツビシ ミラージュ CA4A 4G92 ECI 1600cc 1991年07月~1995年08月、剥離(密着性)、導通不良(電導性)といった材料の表層側で起き易い変化を議論するうえで、不可欠なツールになっています。

XPS測定技術の中に、イオンスパッタを併用した深さ方向分析があります。これは、スパッタと測定の繰り返しにより、材料内部(~0.5μm)の元素組成、結合状態を評価する技術です。試料が薄膜であれば、その膜厚を評価でき、付着層の厚さを議論するうえでも有用です。ただ、前号で述べたように、従来のスパッタ技術で用いられるアルゴンイオンは、高分子などソフトな材料では損傷を引き起こすことがあり、これは材料分析の観点では看過できない問題でした。

図1 ポリ乳酸材料の炭素 (C1s)XPS スペクトル

図1に、医療分野等で用いられる透明性の高い高分子材料 15インチステラ カスタムLA100系ENKEI パフォーマンスライン PF01 マットブラック 5.0Jx15ヨコハマ エコス ES31 165/55R15、ポリ乳酸(PLA)試料のXPS深さ方向分析結果を示します。従来のアルゴン(Ar)イオンスパッタにより得られた結果と、新規の有機クラスター”コロネン”イオンにより得られた、炭素(C1s)の状態分析結果です。Arスパッタでは、スパッタ毎にポリ乳酸の骨格構造であるカルボキシル基(O-C=O)とエーテル結合(-C-O-)由来のピーク強度が低下しており、

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、スパッタに伴う有機構造の損傷が明らかです。一方、コロネンイオンスパッタでは、ピーク強度に変化はなく、低損傷スパッタ法であることが確認されます。

図2 表面汚染されたフッ素樹脂試料 (PTFE)

次に、図2に示すような表面汚染されたフッ素樹脂試料(PTFE)について、コロネンイオンスパッタを用いた炭素(C1s)の状態分析結果(図3a)と カードでポイント最大34倍 3/21(木)20:00~3/26(火)1:59迄 YOKOHAMA ヨコハマ ブルーアース RV-02 ミニバン サマータイヤ 235/50R18 WEDS ウェッズ Leonis レオニス NAVIA 05 ナビア05 ホイールセット 4本 18インチ 18 X 8 +42 5穴 114.3、深さ方向への成分分布(図3b)を示します。

図3 汚染 PTFE の XPS による深さ方向分析結果

(コロネンスパッタ)

得られた結果は、-(CF2)n-の構造を保ちつつ 【DID】【ドライブチェーン】520VX2 110L ZJ スチール【カシメジョイント】カワサキ ニンジャ Ninja ZX-6RR 05、汚染物質の主成分である-(CH2)n-量の減少を示しています。

今回事例としたフッ素樹脂は、太陽電池のバックシートなどに用いられる比較的耐候性の高い材料ですが、その表面の僅かな汚染状況の確認に、低損傷のイオンスパッタ深さ方向分析が有効です。また、異種材の接合界面における剥離原因の解析などにも役立ちます。

次号では、XPS装置による化学結合状態の評価において、

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、照射X線のエネルギー変化によって得られる新たな知見について紹介させていただきます。

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